高精密機(jī)床

高精密機(jī)床是為了實(shí)現(xiàn)較高精度的切削運(yùn)動(dòng)，高精密加工機(jī)床的運(yùn)動(dòng)控制普遍采用較別的功能部件。  

在導(dǎo)軌和軸承方面，由于高精度加工需要實(shí)現(xiàn)高精度和平穩(wěn)的定位運(yùn)動(dòng)、軌跡運(yùn)動(dòng)和微小距離運(yùn)動(dòng)，因此高精度加工機(jī)床采用靜壓絲杠和靜壓導(dǎo)軌較為常見(jiàn)。此外，高精密加工機(jī)床的電主軸也可采取動(dòng)壓或靜承的方案，以同時(shí)實(shí)現(xiàn)支承和冷卻功能，并提高主軸的剛度和阻尼性能。  

在位置控制方面，由于精密測(cè)量是控制高精度加工的前提，要保證機(jī)床的運(yùn)動(dòng)達(dá)到需要的精度級(jí)別，其電子尺的測(cè)量精度須要高1~2個(gè)數(shù)量級(jí)。

目前高精度加工機(jī)床一般采用分辨率達(dá)0.05~0.1μm的玻璃光柵。  

機(jī)床的加工精度、光潔度和刀具壽命與機(jī)床的剛性成正比，因此高精度加工機(jī)床尤其重視床身的設(shè)計(jì)和材料選擇。

超精密機(jī)床  

超精密機(jī)床加工是指尺寸精度在100nm以?xún)?nèi)的加工技術(shù)。隨著航空航天、精密儀器、光學(xué)和激光技術(shù)的迅速發(fā)展，以及人造衛(wèi)星姿態(tài)控制和遙測(cè)器件、光刻和硅片加工設(shè)備等各種高精度平面、曲面和復(fù)雜形狀零件的加工需求日益迫切，超精密加工的應(yīng)用范圍日益擴(kuò)大。它的特點(diǎn)是可以直接加工出具有納米級(jí)表面光潔度和亞微米級(jí)形面精度的表面，借以實(shí)現(xiàn)各種優(yōu)化的、高成像質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng)，并促使光學(xué)電子設(shè)備的小型化、陣列化和集成化。  

近年來(lái)，超精密加工開(kāi)始從高技術(shù)裝備制造領(lǐng)域走向消費(fèi)品生產(chǎn)領(lǐng)域。應(yīng)用的是各種電子產(chǎn)品中的塑料成像鏡頭，如手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)鏡頭、光盤(pán)讀取鏡頭、人工晶體等。同時(shí)，也開(kāi)始用于各種自由曲面光學(xué)零件、微透鏡陣列、漸進(jìn)式鏡片、菲涅爾透鏡、微溝槽陣列等各種光束處理鏡片的加工。與成像鏡頭相比，光束處理器件具有更為復(fù)雜的形面。